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电容式地震检波器和MEMS地震检波器
    地震检波器的应用对我们有很大帮助,下面就来给大家介绍一下电容式地震检波器和MEMS地震检波器。
    电容式地震检波器是根据两极板之间的距离、相互覆盖的面积、介电系数变化引起电容改变来设计的。与单电容地震检波器相比,差动电容地震检波器的灵敏度提高了一倍,相对非线性误差大大减小。由于模拟差动电容式检波器输出信号易受电磁信号干扰,已经逐渐被数字式差动电容检波器取代。MEMS数字检波器其中核心部件就是差动电容式地震检波器。
    MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)检波器是目前性能较好的三分量数字地震检波器,是以硅材料为基底,采用MEMS技术,即微电子机械系统技术加工的差动电容式地震检波器。
    21世纪初国外推出的VectorSeis系列和DSU系列数字地震检波器都是基于MEMS技术设计的微电子机械数字传感系统。MEMS地震检波器结构精巧,灵敏度比动圈式地震检波器高,动态范围较大,同时实现了检波器的数字化,抗干扰能力强。该类型地震检波器在实验室研制的性能效果较好,但是加工工艺为先进的MEMS技术,成本较高,在地震勘探过程中通常会使用几十甚至几百个检波器,因此将该类型检波器投入大型地震勘探生产实践还有一定的难度。
    以上就是关于电容式地震检波器和MEMS地震检波器的介绍,希望对大家有所帮助。

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